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三甲基铝泄漏怎么处理
当三甲基铝泄漏时，首先要切断所有的火源，然后用不燃性分散剂制成的乳剂刷洗。
工作时必须穿戴氯乙烯或氯丁橡胶防护服，皮或者尼龙的手套，高腰胶靴，护目镜，防毒（酸性气体用）口罩等。工作场所要通风，保持环境空气新鲜干燥。用钢瓶盛装，液面要用NAr等惰性气体保护。
S36/37/39 Wear suitable protective clothing， gloves and eye/face protection.穿戴适当的防护服、手套和护目镜或面具。
PECVD中如何使用三甲基铝
采用载气的方法，将TMA（三甲基铝）饱和蒸汽带入反应腔。
PECVD是在真空中把三甲基铝（TMA）和一氧化二氮混合，通过等离子激发反应生成氧化铝。这种PECVD系统镀膜质量适中，但镀膜速率快，容易实现量产化，尤其是链式PECVD方式更容易量产化。
铝源注入：加热后的三甲基铝（TMA）蒸汽注入为金属铝源，其中TMA包含一个铝原子+三个前驱体原子。气体清洗一：使用惰性气体，将多余的 TMA 蒸气和反应副产物甲烷带出反应室。
三甲基铝分解是放热反应吗
受热到150度以上时，会发生以下变化：降解：三甲基铝会发生降解反应，产生低分子量的有机化合物和铝的氧化产物。这会导致反应物质的损失和沉积材料质量的下降。
金属有机化合物 主要有三甲基铝、二甲基镉、三异丁基铝、二乙基锌、乙基钠等。这些物质有的能在空气中自燃，与水反应会加剧燃烧，甚至会发生爆炸等。
与水反应激烈，即使在冷水中也能产生爆炸性分解反应，并生成甲烷，有时还能发火。
铝热反应是放热反应。 铝热反应以铝粉和氧化铁皮为主要应物的发热反应。当温度超过1250℃时，铝粉激烈氧化，燃烧而放出大量热。这种放热反应的温度可达3000℃以上。铝热反应非常迅速，作用时间短。
H2（很激烈，甚至爆炸，强放热）酸碱的中和反应：如将H2SO4和KOH溶液混合，试管璧温度上升。多数化合反应都会伴随热量释放。吸热反应：物质的分解反应常常需要吸收热量。
燃烧、中和、金属氧化、铝热反应、较活泼的金属与酸反应、由不稳定物质变为稳定物质的反应多数化合反应是放热的（但是要注意高压下石墨转变成金刚石是放热反应，尽管常压下是相反的）。