六甲基二硅氮烷中和酸（六甲基二硅氮烷生意社）

光刻材料之黏附材料

1、光刻中，光刻胶的黏附效果受到光刻涂层、衬底材料及光刻工艺的影响。HMDS处理对硅基衬底效果较好，对于其他衬底如多晶硅、石英、金属、GaN等，可尝试使用水性阳离子表面活性剂。这类材料通过与阳离子相互作用，改变基材表面张力，增强基底与光刻胶的粘附力。

2、光刻胶的性能指标包含分辨率、对比度、灵敏度、黏滞性/黏度、黏附性、抗蚀性、表面张力、针孔、纯度、热流程等。分辨率即光刻工艺中所能形成最小尺寸的有用图像。此性质深受光刻胶材质本身物理化学性质的影响。若要使光刻材料拥有良好的分辨能力，需谨慎选择高分子基材及所用的显影剂。

3、p光刻胶主要由感光剂（光引发剂）、聚合剂（感光树脂）、溶剂与助剂构成。感光剂是光刻胶的核心，其感光度与分辨率直接影响光刻胶的质量。聚合剂用于将光刻胶中的不同材料聚合，形成光刻胶的骨架，决定其硬度、柔韧性、附着力等基本属性。

4、可以在硅片底层上coating一层薄薄的HMDS（hexamethyldisilazane），然后再涂PR，此溶剂的主要作用就是让硅片的SIO2表层结构由亲水性变成疏水性，和PR同为溶剂的HMDS可以更好的结合，粘附性会更好，也不会产生bubble。你可以搜一下TOK的OAP材料。说的应该就是这个东西。

六甲基二硅氮烷风险术语

六甲基二硅氮烷是一种化学物质，其安全特性被严格标记，以下是一些关键的风险术语：首先，它被标记为R11，表示高度易燃性，这意味着在使用或存储过程中，应特别注意避免明火和火花，以防止意外火灾。其次，R20/21/22风险等级提示，该物质在吸入、皮肤接触以及吞食时都可能对人体造成伤害。

值得注意的是，六甲基二硅氮烷在安全方面需谨慎对待。它带有某些危险标志，具体的风险术语包括R11：，表示可能对水环境造成危害；R20/21/22：，可能造成皮肤和眼睛刺激，以及可能对呼吸系统造成刺激；R34：，表示存在长期或重复接触可能引发健康问题的潜在风险。

九甲基三硅氮烷，又称三（三甲基硅）胺，其英文名称为Nonamethyltrisilazane，另一种名称为Tris（trimethylsilyl）amine。这个化合物的化学结构独特，分子式为C9H27NSi3，对应的分子量为235739。其CAS编号为1586-73-8，EINECS编码为216-445-0。

六甲基二硅氮烷用途

1、【用途六】用作硅油生产中的封头剂，也可用作硅氮烷原料。用于硅橡胶、药品、气相色谱固定液、分析试剂、憎水剂等。

2、在半导体工业中，六甲基二硅氮烷发挥着粘结助剂的作用，特别是在光致刻蚀剂的制作过程中，它的存在对于精确的材料粘合和工艺控制至关重要。在有机硅氮烷化学领域，六甲基二硅氮烷的独特性质被进一步利用。

3、可用于硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理，其作用机理是以硅氮键与硅羟基缩合。在半导体工业中用作光致刻蚀剂的粘结助剂。在有机硅氮烷化学中，可以用作与氯硅烷单体进行氯交换，从而获得聚硅氮烷。这种方法比直接通氨法在合成上有巨大优势。

4、六甲基二硅氮烷在多个领域展现出其独特的用途。首先，它在特种有机合成中扮演着重要角色，特别是在合成抗生素如阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶以及各种青霉素衍生物的过程中，作为甲硅烷基化的关键中间体。其次，它也被用于处理硅藻土、白炭黑和钛等粉末的表面，提升其性能和附着力。

5、可用于硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。可用于硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理，其作用机理是以硅氮键与硅羟基缩合。在半导体工业中用作光致刻蚀剂的粘结助剂。六甲基二硅氮烷是一类危险品，因为六甲基二硅氮烷是易燃液体，遇明火、高温、氧化剂易燃。遇水分解有毒硅化物气体。

六甲基二硅氮烷与酸酐反应

1、六甲基二硅氮烷与酸酐反应生成三甲基硅基酸酯。六甲基二硅氮烷或酸酐反应而将聚合物的oh端基封端的方法，以改进可固化混合物的储存稳定性。

2、六甲基二硅烷（酸催化脱三甲基硅烷保护基的副产物）能和醚类、醇类、乙腈及三甲基硅醇形成共沸物。即使共沸物不能完全除去杂质组分，也能降低沸点。共沸物如果能够回收套用，也是较为经济的溶剂。 当一对共沸物的组成接近1：1时，从其中一种溶剂中分离出另一种溶剂更容易。

3、如果以中间的碳为中心，则四面体端点分别是H、H、CHCH3。由于两个CH3（甲基）无论如何会向一边倾斜，即它们的夹角约为109度28分（当然会有偏差）左右，远小于180度。所以两个甲基对电子对的排斥力并不能相互抵消。两个H原子也是一样。由于结构上的不对称，所以丙烷是有极性的。

4、可用来鉴别六碳和六碳以下的一级、二级、三级醇别加入盛有Lucas试剂的试管中，经振荡后可发现，三级醇立刻反应，生成油状氯代烷，它不溶于酸中，溶液呈混浊后分两层，反应放热；二级醇2~5min反应，放热小明显，溶液分两层；一级醇经室温放置1h仍无反应，必须加热才能反应。

5、金属与盐溶液一般发生置换反应；但下列例外：2FeCl3 + Fe=3FeCl2 2FeCl3 + Cu =2FeCl2 + CuCl2 3 金属与碱溶液一般不反应；但AI、Zn均与 NaOH溶液反应。 3 盐与盐溶液反应一般生成两种新盐；但 两种盐溶液间发生双水解就例外。

六甲基二硅氮烷的结构式是什么?

1、六甲基二硅氮烷，[（CH3）3Si]2NH，结构式见下图第一个物质 易水解，放出NH3，生成六甲基二硅氧烷。

2、子 式：（CH3）3SiNHSi（CH3）3 分 子 量：1639 性 状：无色透明液体、无毒、略带胺味。密度（25℃）g/cm3：0.770—0.780 折光率：408±0.002 闪点：27℃ 沸点：126℃ 代称：H7300可用于特种有机合成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。

3、六甲基二硅氮烷，以其中文名称六甲基二硅亚胺或1，1，1，3，3，3-六甲基二硅氮烷，又名六甲基二硅胺烷，是一种化学物质。其英文名称为1，1，1，3，3，3-Hexamethyldisilazane，商品名称还包括HMDS和DYNASYLAN HMDS。此化合物的化学结构式为C6H19NSi2，分子量为1639克/摩尔。

4、HMDS为六甲基二硅氮烷（Si（CH3）3）2NH，行业要求纯度大于97%，且易燃，需密封保存。HMDS密度0.774g/cm3，沸点126℃，233℃下自燃。在实际生产中，常将HMDS雾化，并在120℃左右处理约30秒，通过有机基团取代晶圆表面水分子羟基，改变分子极性，使晶圆表面由亲水性变为疏水性。

5、硅氮烷六甲基二硅氮烷又称双（三甲基硅基）胺、六甲基二硅氮烷，或HMDS，分子式[（CH3）3Si]2NH。该物质是氨中两个氢原子被三甲基硅基取代的衍生物。六甲基二硅氮烷是一种无色液体，也是一种广泛应用于有机合成和有机金属化学反应重要试剂和主要成分。

六甲基二硅氮烷注意事项

在存储六甲基二硅氮烷时，务必遵守严格的安全规定。首要的是，切勿让产品暴露在明火环境下，确保存储区域保持通风和干燥，同时避免阳光直射，理想的温度范围应在-50℃至45℃之间。在运输过程中，对六甲基二硅氮烷的保护同样重要。必须防止任何剧烈的碰撞，以防止可能的损坏。

贮存时，不准接触明火，应保持通风、干燥，防止阳光照射，贮存温度-50℃～45℃。运输时，应避免碰撞，防雨淋、日晒。按危险品贮存和运输。该产品易于水解，遇酸性物质易发生剧烈反应，应保存在密闭容器中。

其次，R20/21/22风险等级提示，该物质在吸入、皮肤接触以及吞食时都可能对人体造成伤害。因此，使用时应采取适当的防护措施，如佩戴呼吸器，避免皮肤直接接触，并确保妥善保管，防止儿童误食。最后，R34标识表明六甲基二硅氮烷具有强烈的腐蚀性，可能会引起灼伤。

在使用时，应遵守相应的安全操作规程，如S16：，避免吸入粉尘；S26：，避免直接皮肤接触；S36/37/39：，建议在通风良好的环境中操作，避免吸入蒸汽，避免与皮肤、眼睛接触；最后，S45：，如不慎吞食，应立即寻求医疗救助。